O material semicondutor avançado nitreto de gálio provavelmente será essencial para a próxima geração de sistemas de comunicação de alta velocidade e a eletrônica de potência necessária para data centers de última geração. Infelizmente, o alto custo do nitreto de gálio (GaN) e a especialização necessária para incorporar esse material semicondutor em eletrônicos convencionais limitaram seu uso em aplicações comerciais. Agora, pesquisadores do MIT e de outros lugares desenvolveram um novo processo de fabricação que integra transistores GaN de alto desempenho em chips CMOS de silício padrão de uma forma que é de baixo custo, escalável e compatível com as fundições de semicondutores existentes.
O método envolve construir muitos transistores minúsculos na superfície de um chip de GaN, cortar cada transistor individualmente e, então, colar apenas o número necessário de transistores em um chip de silício usando um processo de baixa temperatura que preserva a funcionalidade de ambos os materiais. O custo permanece mínimo, visto que apenas uma pequena quantidade de material GaN é adicionada ao chip, mas o dispositivo resultante pode receber um aumento significativo de desempenho com transistores compactos e de alta velocidade. Além disso, ao separar o circuito GaN em transistores discretos que podem ser distribuídos pelo chip de silício, a nova tecnologia é capaz de reduzir a temperatura de todo o sistema.
Os pesquisadores usaram esse processo para fabricar um amplificador de potência, um componente essencial em celulares, que alcança maior intensidade de sinal e eficiência do que dispositivos com transistores de silício. Em um smartphone, isso poderia melhorar a qualidade das chamadas, aumentar a largura de banda sem fio, aprimorar a conectividade e prolongar a vida útil da bateria. Como seu método se encaixa em procedimentos padrão, ele pode aprimorar a eletrônica existente hoje, bem como tecnologias futuras. No futuro, o novo esquema de integração pode até mesmo permitir aplicações quânticas, já que o GaN tem desempenho superior ao do silício nas temperaturas criogênicas essenciais para muitos tipos de computação quântica.
“Se pudermos reduzir o custo, melhorar a escalabilidade e, ao mesmo tempo, aprimorar o desempenho do dispositivo eletrônico, é óbvio que devemos adotar essa tecnologia. Combinamos o melhor do que existe em silício com a melhor eletrônica de nitreto de gálio possível. Esses chips híbridos podem revolucionar muitos mercados comerciais”, afirma Pradyot Yadav, aluno de pós-graduação do MIT e autor principal de um artigo sobre esse método.
Ele é acompanhado no artigo pelos colegas de pós-graduação do MIT Jinchen Wang e Patrick Darmawi-Iskandar; pelo pós-doutorado do MIT John Niroula; pelos autores seniores Ulriche L. Rodhe, cientista visitante nos Laboratórios de Tecnologia de Microsistemas (MTL), e Ruonan Han, professor associado do Departamento de Engenharia Elétrica e Ciência da Computação (EECS) e membro do MTL; e Tomás Palacios, Professor Clarence J. LeBel do EECS e diretor do MTL; além de colaboradores da Georgia Tech e do Laboratório de Pesquisa da Força Aérea. A pesquisa foi recentemente apresentada no Simpósio de Circuitos Integrados de Radiofrequência do IEEE.
Troca de transistores
O nitreto de gálio é o segundo semicondutor mais utilizado no mundo, logo depois do silício, e suas propriedades únicas o tornam ideal para aplicações como iluminação, sistemas de radar e eletrônica de potência. O material existe há décadas e, para atingir seu desempenho máximo, é importante que chips feitos de GaN sejam conectados a chips digitais feitos de silício, também chamados de chips CMOS. Para isso, alguns métodos de integração unem transistores de GaN a um chip CMOS por meio da soldagem das conexões, mas isso limita o tamanho dos transistores de GaN. Quanto menores os transistores, maior a frequência em que podem operar.
Outros métodos integram uma pastilha inteira de nitreto de gálio sobre uma pastilha de silício, mas usar tanto material é extremamente caro, especialmente porque o GaN é necessário apenas em alguns transistores minúsculos. O restante do material na pastilha de GaN é desperdiçado. “Queríamos combinar a funcionalidade do GaN com o poder dos chips digitais feitos de silício, mas sem comprometer o custo da largura de banda. Conseguimos isso adicionando transistores discretos de nitreto de gálio superminúsculos diretamente sobre o chip de silício”, explica Yadav.
Os novos chips são o resultado de um processo de várias etapas. Primeiro, um conjunto compacto de transistores minúsculos é fabricado em toda a superfície de um wafer de GaN. Usando tecnologia de laser de alta precisão, eles cortam cada um deles até o tamanho exato do transistor, que é de 240 por 410 mícrons, formando o que eles chamam de dielete. (Um mícron é um milionésimo de metro.) Cada transistor é fabricado com minúsculos pilares de cobre na parte superior, que são usados para se ligar diretamente aos pilares de cobre na superfície de um chip CMOS de silício padrão. A ligação cobre-cobre pode ser feita em temperaturas abaixo de 400 graus Celsius, o que é baixo o suficiente para evitar danos a qualquer um dos materiais.
As técnicas atuais de integração de GaN exigem ligações que utilizam ouro, um material caro que requer temperaturas muito mais altas e forças de ligação mais fortes do que o cobre. Como o ouro pode contaminar as ferramentas usadas na maioria das fundições de semicondutores, normalmente requer instalações especializadas. “Queríamos um processo de baixo custo, baixa temperatura e baixa força, e o cobre supera todos os outros relacionados ao ouro. Ao mesmo tempo, tem melhor condutividade”, diz Yadav.
Uma nova ferramenta
Para viabilizar o processo de integração, eles criaram uma nova ferramenta especializada que consegue integrar cuidadosamente o minúsculo transistor de GaN aos chips de silício. A ferramenta utiliza vácuo para segurar o dielet enquanto ele se move sobre um chip de silício, focando na interface de ligação de cobre com precisão nanométrica. Eles usaram microscopia avançada para monitorar a interface e, então, quando o dielet estava na posição correta, eles aplicaram calor e pressão para ligar o transistor GaN ao chip. “Para cada etapa do processo, tive que encontrar um novo colaborador que soubesse aplicar a técnica que eu precisava, aprender com ele e, então, integrar isso à minha plataforma. Foram dois anos de aprendizado constante”, diz Yadav. Depois que os pesquisadores aperfeiçoaram o processo de fabricação, eles o demonstraram desenvolvendo amplificadores de potência, que são circuitos de radiofrequência que amplificam sinais sem fio.
Seus dispositivos alcançaram maior largura de banda e melhor ganho do que os dispositivos feitos com transistores de silício tradicionais. Cada chip compacto tem uma área de menos de meio milímetro quadrado. Além disso, como o chip de silício utilizado na demonstração é baseado na metalização de última geração e nas opções passivas do Intel FinFET 16 de 22 nm, eles conseguiram incorporar componentes frequentemente usados em circuitos de silício, como capacitores de neutralização. Isso melhorou significativamente o ganho do amplificador, aproximando-o um passo mais da próxima geração de tecnologias sem fio.
“Para lidar com a desaceleração da Lei de Moore no escalonamento de transistores, a integração heterogênea surgiu como uma solução promissora para o escalonamento contínuo do sistema, redução do fator de forma, melhoria da eficiência energética e otimização de custos. Particularmente na tecnologia sem fio, a forte integração de semicondutores compostos com wafers à base de silício é fundamental para a concretização de sistemas unificados de circuitos integrados front-end, processadores de banda base, aceleradores e memória para plataformas de antenas para IA de próxima geração. Este trabalho representa um avanço significativo ao demonstrar a integração 3D de múltiplos chips GaN com CMOS de silício e expande os limites das capacidades tecnológicas atuais”, afirma Atom Watanabe, pesquisador científico da IBM.
